近日，两家无锡半导体设备企业均传出喜讯，位于无锡经开区的研微（江苏）半导体科技有限公司自主研发的Perfectus-A系列首台硅外延（Si Epi）设备正式交付国内硅材料行业头部企业；而位于高新区的无锡卓海科技股份有限公司则实现了自主研发的第100台半导体量检测设备下线，装车发往一家芯片制造企业。“这些不仅实现了同类产品的国产化替代，为半导体企业提供可靠、高效的国产化精准解决方案，还为国内半导体材料产业链的自主可控提供了关键设备支撑，进一步助力半导体产业降低产业链供应链风险。”业内人士表示。

　　硅外延类设备此前被国外企业长期垄断。作为半导体材料制备的核心环节，外延工艺会直接影响外延片质量与芯片性能。研微半导体创始人兼董事长林兴介绍，公司从源头设计端发力，优化设备的核心零部件反应腔，其生产的高质量外延片不仅显著提升晶圆表面质量，更增强了外延材料在先进制程中的可靠性。据了解，此次交付后，研微半导体正式实现全系产品批量出货，成为国内极少数在沉积与外延两大关键技术平台逐步实现产业化的设备企业之一。

　　研微半导体的快速成长，离不开地方政府在资金、政策与产业生态等方面的持续赋能。“在无锡创业如鱼得水。”林兴感慨道，企业创立初期，无锡经开区便为其争取到超5000万元“耐心资本”支持，助力企业平稳度过早期研发与积累阶段。同时，无锡经开区在集成电路产业领域的深厚积淀，也让研微半导体受益匪浅，太湖湾信息技术产业园现已集聚生态圈企业70余家。这种“上下楼即上下游”的产业环境，大幅降低了沟通成本，有效提升了生产效率。此外，江南大学集成电路学院与东南大学集成电路学院也为企业输送了大量“新鲜血液”。“我们已与这些高校共建校外实习基地，目前还在推进博士后流动站申请工作。”林兴说。

　　无锡卓海科技股份有限公司成立于2009年，是一家专注于半导体前道量检测设备研发和生产的国家级专精特新“小巨人”企业。数据显示，2020年至2024年，该公司秉承“修研并举，双线发展”的发展模式，营收从数千万元增长至4.65亿元。回顾从“1”到“100”的研发之路，卓海科技一位核心研发人员不禁感慨：“5年来，我们的研发团队从初始创立，发展到如今数十人的规模，完成了应力测量设备、方块电阻测量设备、反射光谱膜厚测量仪、无图形晶圆缺陷检测设备、探针式表面轮廓仪等设备的自主研发及产业化。此次第100台自研设备的下线，展现了卓海科技在高端半导体设备领域的研发实力和创新底气。”

　　据介绍，半导体量检测设备被称作保障芯片良品率的“质量闸门”，其技术水平直接决定半导体制造的质量控制能力，也是衡量半导体产业自主化程度的关键指标之一。根据权威数据统计，2024年全球半导体检测和量测设备市场规模达到143.5亿美元，在制造设备中占比约13%。半导体制造工艺向更先进制程迈进，直接推动了制造过程中检测设备与量测设备的技术升级和市场需求的持续增长。

来源：无锡日报