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| 信息索引号 | 014006438/2024-01083 | 生成日期 | 2024-02-29 | 公开日期 | 2024-02-29 |
| 文件编号 | — — | 发布机构 | 无锡市发展和改革委员会 | ||
| 效力状况 | 有效 | 附件下载 | — — | ||
| 内容概述 | 项目名称：滨湖光子芯片联合研究中心 项目单位：无锡市光子芯片联合研究中心 建设内容及规模：利用光子芯谷科研用房及其配套设施，购置 DUV 光刻机、单片清洗设备、匀胶机等研发设备建设年用量 12000片酸薄膜晶圆和 100 片IP 外延片的研发实验平台 | ||||
项目名称：滨湖光子芯片联合研究中心
项目单位：无锡市光子芯片联合研究中心
建设内容及规模：利用光子芯谷科研用房及其配套设施，购置 DUV 光刻机、单片清洗设备、匀胶机等研发设备建设年用量 12000片酸薄膜晶圆和 100 片IP 外延片的研发实验平台，推动量子计算机、通用光子处理器、三维光互连芯片和高精密飞秒激光直写机在无锡市落地转化
建设起止年限：2024-2025年
计划总投资：20784万元
2024年计划投资：10000万元
来源：无锡市发展和改革委员会
